Технологическая схема производства пьезокерамики PZT (ЦТС): порошок, прессование, спекание, поляризация.

Как производят пьезокерамику? От шихты до готового изделия

Технология производства пьезокерамики объективно сложна, но наша задача — объяснить её просто и без потери инженерной точности.

Пьезокерамику выпускают в контролируемых условиях на специализированном оборудовании. Процесс и состав оборудования широкой публике обычно не известны. Из этой статьи вы узнаете:

  • рецептуру пьезокерамики;
  • полную технологическую цепочку производства;
  • перечень необходимого оборудования;
  • признаки качественного производителя пьезокерамики;
  • рекомендации по выбору завода.

1. Рецептура пьезокерамики – основа основ

Керамическая шихта (смесь сырьевых компонентов) – это фундамент для получения пьезокерамики. Для классического материала ЦТС (PZT) основные компоненты: Pb₃O₄, ZrO₂ и TiO₂. При выборе сырья учитывают два фактора: химический состав и физическое состояние.

Требования к чистоте сырья должна быть умеренной.

  • Слишком высокая чистота → дорого, требует высоких температур спекания.
  • Низкая чистота (много примесей) → снижает температуру спекания, но ухудшает свойства.

В рецептуре ЦТС массовая доля основных компонентов:

  • Pb₃O₄ — около 60%
  • ZrO₂ — около 20%
  • TiO₂ — около 18%

Суммарное содержание примесей не должно превышать 2%, то есть чистота исходных порошков – выше 98%.

Для разных задач нужны разные свойства, поэтому вводят легирующие добавки (ионы замещения) вместо Pb²⁺ (A-позиция) или вместо Zr⁴⁺/Ti⁴⁺ (B-позиция). Это позволяет направленно улучшать характеристики материала.

Современные требования к пьезокерамике постоянно растут. Именно поэтому активно исследуют и применяют модифицированные пьезокерамические материалы на основе тройной системы ЦТС (PZT-based ternary system).

2. Технологический процесс производства пьезокерамики

Производство пьезокерамики включает несколько ключевых переделов: синтез порошка, формование, спекание, нанесение электродов и поляризацию. На каждом этапе происходят физико-химические превращения. Конечные характеристики напрямую зависят от состава и параметров каждого этапа. Поэтому стабильные и обоснованные режимы — главное условие получения качественной пьезокерамики.

2.1 Приготовление полуфабриката (зеленой заготовки)

Формование заготовок ведут методом сухого прессования. Перед прессованием порошок обязательно гранулируют: добавляют связующее (около 5% от массы шихты), тщательно перемешивают, просеивают. Затем предварительно спрессованную массу измельчают и снова просеивают до мелкой фракции. Цель грануляции — равномерно распределить связку в объеме порошка, уплотнить сами частицы, удалить лишний воздух. Это облегчает формование и обеспечивает равномерную плотность заготовок.

2.2 Спекание керамики и механообработка

После сухого прессования заготовку обжигают при высокой температуре — это и есть спекание. Суть процесса: перегруппировка частиц, рост плотности и кристаллов.

  • Перегрев → неравномерный рост кристаллов и неоднородная структура.
  • Недогрев → кристаллы не успевают сформироваться полностью.

Оба дефекта ухудшают пьезосвойства элемента из PZT (ЦТС).

2.3 Нанесение электродов

Чтобы керамический элемент проводил ток и проявлял пьезоэффект, на его поверхности нужны металлические электроды. Традиционные методы: вжигание серебряной пасты, вакуумное напыление, химическое серебрение или меднение.

2.4 Поляризация пьезокерамики

После нанесения электродов элемент поляризуют, чтобы «включился» пьезоэффект. Для качественной поляризации важно верно подобрать три параметра:

  • напряженность поляризующего поля;
  • температуру поляризации;
  • время поляризации.

Только под действием поля электрические домены ориентируются и выстраиваются вдоль линий поля. Чем выше напряженность поля, тем эффективнее ориентация доменов и совершеннее поляризация.

2.5 Сводная таблица этапов производства пьезокерамики

Технологический переход

Назначение операции

Дозирование (приготовление шихты)

Предварительная обработка сырья: удаление примесей, сушка, точное взвешивание компонентов по рецептуре

Смешивание и помол

Сухой или мокрый помол (для мелких партий — сухой, для крупных — высокоэффективный аттритор или струйная мельница). Цель: смешать и размолоть компоненты, подготовить их к твердофазной реакции

Предварительный обжиг (синтез)

Высокотемпературная твердофазная реакция с образованием пьезокерамического материала. Критически важный этап, влияющий на условия спекания и финальные свойства

Вторичный помол

Тонкое виброизмельчение, смешивание и гомогенизация предварительно обожженного порошка. Основа для стабильности свойств готовой керамики

Грануляция

Равномерное распределение связующего, выравнивание плотности заготовок, удаление воздуха между частицами — всё для лучшего формования и уплотнения

Формование заготовки

Процесс уплотнения порошка, при котором заготовка приобретает прочность, а её объём уменьшается

Удаление связующего (пластификатора)

Предотвращает деформацию и растрескивание заготовки при высокотемпературном спекании из-за разложения и газовыделения

Спекание (обжиг до керамики)

Нагрев заготовки до высокой температуры (ниже точки плавления) для усадки, уплотнения и набора прочности

Механическая обработка формы

Шлифовка и доводка обожженного изделия до точных размеров по чертежу

Металлизация (нанесение электродов)

Создание верхнего токопроводящего электрода на требуемой поверхности керамики. Методы: вжигание серебра, химосаждение, вакуумное напыление

Высоковольтная поляризация

Ориентация доменов внутри керамики для появления пьезоэлектрических свойств

Контрольное старение (испытания)

После стабилизации свойств керамики проверяют все параметры на соответствие заданным требованиям

3. Оборудование для производства пьезокерамики

В технологической цепочке используется широкий спектр установок: шаровые мельницы, смесители, прессы, шлифовальные станки, печи для спекания, устройства для нанесения электродов. Каждая позиция критична.

Для отдельных операций могут также требоваться: автоматические ленточные питатели, оборудование для резки конденсаторов и изостатические прессы с водяным контуром.

4. Признаки отличного производителя пьезокерамики

Технический специалист при выборе поставщика обращает внимание на следующее:

  • наличие собственных, уникальных керамических рецептур;
  • готовность к изготовлению пьезокерамики на заказ;
  • полный замкнутый цикл производства;
  • собственный действующий цех, а не сторонний субподряд;
  • способность быстро и по существу решать технологические проблемы клиента.